作为半导体行业中景气度较高的细分领域，半导体设备一直是重要的投资主线之一。有行业人士认为，中美脱钩以后，美国封锁中国半导体产业，打造国内半导体全产业链至关重要，近年来半导体制造设备销售额强劲增长，半导体产业链有望向中国转移，2020年中国大陆首次成为全球最大的半导体设备市场。虽然投资高峰过后市场也存在同比下滑的可能性，但对于我国企业来说，市场份额的提升是成长的主线。目前我国半导体设备的总体国产化率依旧偏低，相关企业的盈利水平具备较高的弹性。
政策层面，两会期间政府工作报告提及“围绕制造业重点产业链，集中优质资源合力推进关键核心技术攻关”“新型举国体制”等内容以及近期国务院机构改革方案计划重新组建科学技术部，加强科学技术部推动健全新型举国体制等职能，预计政府对半导体产业扶持力度有望增强。太平洋证券分析师崔文娟指出，在我国半导体产业发展逐步进入攻坚克难时期，预计政策、企业层面均会加大对卡脖子环节投入力度。此外，近期虽有万业企业、长川科技、国科微相继公告大基金拟减持所持有部分股份，我们认为减持已经落地，虽短期会对市场情绪面有所影响，但半导体设备作为自主可控、确定性最强的主线之一，仍值得关注。
可以看到的是，2022年美国芯片法案进一步限制我国对半导体设备的进口，后续荷兰、日本等多国也加入限制出口行列，虽然在一定程度上影响国内晶圆厂扩产预期，但从当前时间节点来看，经过前期较大幅度的回调，海外政策利空在半导体产业链股价端已经反应得较为充分。本土晶圆厂扩产路线明朗，国内半导体设备行业正重拾信心持续成长。整体来看，全球半导体行业景气整体向下的背景下，大陆头部晶圆厂延续大规模扩产步伐，在政策资金的强加码下，逆周期扩产成为大陆半导体行业的现状。无论是当前业绩还是未来业绩，半导体设备都是自主可控链条里业绩预期最好的板块之一。
从一季度设备中标情况来看，德邦证券分析师陈海进指出，2023年一季度样本晶圆厂的设备中标中，华虹无锡的设备中标国产化率为23%，而积塔半导体为45%。在沉积与刻蚀设备中，北方华创继续展现国产设备龙头优势，有刻蚀、热处理等设备中标，嘉芯迦能在积塔半导体中标8台设备，包含PVD以及沉积设备。整体来看，下游晶圆厂逐步带动设备国产化。
东吴证券分析师周尔双表示，日本计划限制半导体制造设备的出口，加上先前美国、荷兰制裁，对当前国内成熟晶圆厂扩产影响不大，但将加速设备进口替代进程，2023年关键设备突破加上国产化率超预提升是大概率事件。国内晶圆厂依然维持较高资本开支，好于先前悲观预期，我们预计二季度有望招标启动。此外考虑AI行情扩散，继续看好半导体行业投资机会。前道设备建议投资者重点关注拓荆科技、精测电子、芯源微，北方华创、中微公司、华海清科、至纯科技、万业企业、盛美上海;后道设备重点关注长川科技、华峰测控。
潜力股精选
拓荆科技(688072)
公司2022年业绩快报显示，第四季度单季营收超7亿元，创历史新高，已接近2021年7.58亿的全年营收。受益于国内晶圆厂设备需求增加及公司产品结构不断优化，公司2022年销售订单大幅增加，营业收入维持高增长趋势。公司继续加大产品研发投入，并进一步拓展客户群体，有望促进国内集成电路产线CVD设备国产化率的全面提升。财通证券指出，2020至2022年公司的归母净利润依次为-0.11亿、0.68亿、2.37亿，成功实现扭亏为盈;归母净利润率由-2.52%上升至21.63%，盈利能力大幅增强。展望未来，随着公司PECVD产品持续放量并形成规模化，ALD、SACVD产品加速验证并导入客户端，拓荆科技将持续迈向高端，盈利能力有望进一步提升。
精测电子(300567)
公司于2018年开始进入半导体检测领域市场，目前以上海精测和武汉精鸿两大子公司为载体，已实现前道、后道检测全领域布局，是实现半导体设备国产替代宏大事业的重要参与方。公司已与中芯国际、长江存储等头部客户建立合作关系，业务成长通道已经打开，未来发展可期。浙商证券指出，公司作为平板显示检测领域的龙头企业，紧跟行业发展趋势，产品覆盖传统及新型显示技术。另外公司技术能力不断提升，产品能力从模组端向要求更高的阵列/成盒端升级，并已取得积极进展。我们认为公司能够持续巩固龙头地位，紧随行业变化，实现业绩持续增长。整体来看，公司业务处在拥有广阔市场、关系国家产业链安全的重要赛道，未来发展前景光明。
芯源微(688037)
公司产品竞争力不断增强，新签订单规模同比大幅增长，并实现客户端订单的有序交付及顺利验收，收入规模持续增长。公司集成电路前道晶圆加工领域产品收入实现快速放量，同时保持小尺寸及集成电路后道先进封装领域产品收入稳步增长。中邮证券指出，公司是国内涂胶显影细分领域龙头，产品已完整覆盖前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体等多个领域。从销售情况看，前道涂胶显影机offline、I-line、KrF机台均已实现批量销售，前道物理清洗机继续巩固国内优势地位。从签单结构看，公司前道track签单实现放量，占比快速提升。目前国内前道Track市场主要由东京电子占据，随着产品竞争力增强，公司前道Track市占率有望持续提升。
长川科技(300604)
公司近年来盈利能力优秀，综合毛利率始终维持在50%以上高位。2022年上半年公司测试机占比进一步提升至40.29%，带动公司实现综合毛利率55.81%，同比显著提升2.11%，高毛利的测试机业务有望成为未来公司业绩增长的新引擎。太平洋证券指出，目前海外巨头占据全球后道测试设备绝大部分份额，国内测试设备厂商在细分领域有所突破，但全球市场占比仍然有限，相对于海外头部公司，国内厂商服务更加优质，能够满足客户更多个性化需求，国产替代提升空间依然较大。2019年公司收购新加坡STI，业务范围从后道环节的测试机/分选机，正式进军光学检测环节，同时结合STI自身TI、美光、意法半导体、三星在内的优质客户资源，带动公司开拓中高端市场，具有优秀的协同效应。
华峰测控(688200)
公司2022年业绩保持稳定增长格局，主要得益于大功率测试及STS8300机台放量。2022年二季度由于消费需求低迷以及疫情封控等因素，公司订单滑至谷底，但2022年下半年以来订单有所好转，呈逐月上升态势，反映整体需求复苏趋势，我们看好2023年公司业绩底部回暖。民生证券指出，公司凭借在SiC、IGBT、GaN大功率类测试机领域拥有的全球话语权，在积累了navitas、台积电、三垦电气等行业知名客户以外，还进入ST、Wolfspeed、斯达等客户，客户进展稳中向好。公司作为平台型测试设备供应商，依靠率先卡位获得的先发优势，未来也将逐步覆盖更多功率测试范围。看好公司在测试机领域的领先地位，且SOC测试及第三代半导体测试将为公司打开长期成长空间。
